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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明提供一种硅材表面应变快速无损非接触测量装置及测量方法，包括：飞秒激光器，用于产生飞秒激光脉冲；时域拉伸组件，设置在飞秒激光器的出射光路上；光信号放大组件，设置在时域拉伸组件的出射光路上；分束器，位于光信号放大组件的出射光路上，用于将所述飞秒激光脉冲分为具有特定功率比的测试光束与参考光束；空间分散组件，设置在分束器测试光束的出射光路上；显微物镜，设置于空间分散组件的出射光路上；高速光电探测器，位于分束器参考光束的出射光路上；高速示波器，与所述高速光电探测器电连接；数据处理装置，与高速示波器电连接。本发明用于解决现有技术对散斑的强依赖和检测帧数低的问题。
主权项：1.一种硅材表面应变快速无损非接触测量装置，其特征在于，包括：飞秒激光器，用于产生足以在待测样品表面反射成像且不损伤待测样品的飞秒激光脉冲；时域拉伸组件，其设置近红外近紫外飞秒激光器的出射光路上，用于对所述飞秒激光脉冲进行时域拉伸；光信号放大组件，其设置在时域拉伸组件的出射光路相连，用于对时域拉伸组件拉伸后的飞秒激光脉冲进行功率补偿；分束器，其位于光信号放大组件的出射光路上，用于将所述飞秒激光脉冲分为具有特定功率比的测试光束与参考光束，其中，测试光束经待测样品反射后沿光路返回分束器，与参考光束发生干涉，形成具有稳定功率的干涉脉冲；空间分散组件，其设置在分束器测试光束的出射光路上，用于将出射脉冲空间色散为空间脉冲，并且将空间脉冲经待测样品反射后沿原光路相反方向照射到所述空间分散组件上，并由所述空间分散组件重新汇聚得到点光；显微物镜，其设置于空间分散组件的出射光路上，用于将空间脉冲聚焦到待测样品上；高速光电探测器，其位于分束器参考光束的出射光路上，用于将干涉脉冲光信号转换为模拟电信号；高速示波器，其与所述高速光电探测器电连接，用于收集采样模拟电信号；数据处理装置，其与所述高速示波器电连接，用于将收集采样得到的模拟电信号进行处理计算获得待测样品表面的应变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 硅材表面应变快速无损非接触测量装置及测量方法
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