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申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种MEMS芯片离心动态过程可视化测试系统，包括：旋转台，带动MEMS芯片的旋转；设置在旋转台上的直线滑轨副；固定镜架，固定在旋转台轴心处，用于固定第一镜面；第二镜面，反射MEMS芯片成像至第一镜面，第一镜面用于将第二镜面反射的成像发射至显微镜；显微镜，对成像进行放大；摄像仪，实施记录MEMS芯片受离心作用时内部结构件的位置变化；配重，保证旋转台的质心位于旋转台的轴心线上；两个双向导电的导环，间隔的布置在旋转台的旋转轴上，与MEMS芯片的电路板连接；两碳刷架，分别夹在两个导环上，与万用表配合实现MEMS芯片通断的测试。本发明可以观测MEMS芯片结构关键部件的运动过程和电连接特性。
主权项：1.一种MEMS离心动态可视化测试系统，其特征在于，包括：旋转台，用于带动MEMS芯片的旋转，能够通过转速调整MEMS芯片旋转的力矩；设置在旋转台上的直线滑轨副，用于安装MEMS芯片，并用于调整MEMS芯片的偏心距以调整MEMS芯片旋转的力矩；固定镜架，固定在旋转台轴心处，用于固定第一镜面；第二镜面，固定在直线滑轨副上，用于反射MEMS芯片成像呈水平方向并至第一镜面，第一镜面用于将第二镜面反射的成像转为垂直方向并发射至显微镜；显微镜，布置在旋转台的轴心线上方，用于对成像进行放大；摄像仪，用于实施记录MEMS芯片受离心作用时内部结构件的位置变化；配重，用于保证旋转台的质心位于旋转台的轴心线上；两个双向导电的导环，间隔的布置在旋转台的旋转轴上，并通过导线与MEMS芯片的电路板连接；两碳刷架，分别夹在两个导环上，与万用表配合实现MEMS芯片通断的测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学 一种MEMS芯片离心动态过程可视化测试系统
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