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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本发明实施例提供一种光掩膜承载盒用以承载光掩膜装置，光掩膜承载盒包括壳体以及抽气装置。壳体包括容置空间、进气孔以及抽气口，光掩膜装置设置于容置空间内，且进气孔经配置以将清洁气体注入壳体的容置空间内。抽气装置设置于壳体上，以对容置空间进行抽气。本发明实施例更提供一种光掩膜装置的承载及清洁方法。
主权项：1.一种光掩膜承载盒，用以承载光掩膜装置，其特征在于，包括：壳体，包括容置空间、进气孔、凸出于所述壳体的把手部以及抽气口，所述光掩膜装置设置于所述容置空间内，且所述进气孔设置于所述底板上并经配置以将清洁气体注入所述壳体的所述容置空间内，所述抽气口设置于所述壳体的顶部；以及抽气装置，设置于所述壳体的所述把手部上并对应所述抽气口，以对所述容置空间进行抽气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 光掩膜承载盒以及光掩膜装置的承载及清洁方法
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