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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明涉及基板输送系统以及基板处理系统。输送装置保持被薄板化的基板，并且沿着输送所述基板的输送路径移动，其中，该输送装置具有：抓持部，其用于抓持借助带安装有所述基板的框架；引导部，其与所述抓持部一同沿着所述输送路径移动，载置由所述抓持部抓持的所述框架；以及移动机构部，其通过使所述抓持部相对于所述引导部移动，使由所述抓持部抓持的所述框架沿着所述引导部移动。
主权项：1.一种基板输送系统，其用于在安装部、输入部、输出部以及处理部之间输送基板，所述安装部通过使粘合带与所述基板及框架粘合来借助所述粘合带将所述基板安装于所述框架，所述输入部被从外部输入收纳有安装于所述框架之前的所述基板的输入盒，所述输出部向外部输出收纳有安装于所述框架之后的所述基板的输出盒，所述处理部进行使所述基板的强度下降的加工，所述基板输送系统具备：输送路径，在沿铅垂方向观察时所述输入部、所述安装部、所述输出部和所述处理部与所述输送路径相邻地设置；以及输送部，其保持所述基板并且沿着所述输送路径移动，用于输送所述基板，其中，所述输送部具备：第1保持部，其用于所述基板从所述输入盒的取出；以及第3保持部，其用于安装于所述框架之后的所述基板的输送。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板输送系统以及基板处理系统
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