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一种半导体器件真空蒸镀设备 

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申请/专利权人:深圳市谦诚半导体技术有限公司

摘要:本发明公开了一种半导体器件真空蒸镀设备,涉及真空蒸镀技术领域。该半导体器件真空蒸镀设备,包括工作台、更换组件、抽风组件、过滤组件和收集组件,工作台的顶部固定连接有真空蒸镀箱体,更换组件位于真空蒸镀箱体内,抽风组件位于真空蒸镀箱体上,过滤组件位于抽风组件上,过滤组件包括按压杆、连接环、铰接杆、铰接块、过滤膜袋和复位弹簧,按压杆的底部固定连接有连接环,连接环的两端分别铰接安装有铰接杆,收集组件位于过滤组件的下方。本发明能够对设备内排出的有毒气体进行过滤工作,对气体内的粉尘颗粒进行过滤,降低了气体中的颗粒物浓度,避免气体内的粉尘沾附在设备内,避免设备内部件收到的污染和腐蚀。

主权项:1.一种半导体器件真空蒸镀设备,其特征在于,包括:工作台1,工作台1的顶部固定连接有真空蒸镀箱体2;更换组件,更换组件位于真空蒸镀箱体2内;抽风组件,抽风组件位于真空蒸镀箱体2上;过滤组件,过滤组件位于抽风组件上,过滤组件包括按压杆22、连接环23、铰接杆24、铰接块25、过滤膜袋26和复位弹簧27,按压杆22的底部固定连接有连接环23,连接环23的两端分别铰接安装有铰接杆24;收集组件,收集组件位于过滤组件的下方。

全文数据:

权利要求:

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