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申请/专利权人：河北思瑞恩新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种碳化硅衬底粗抛用氧化铝抛光液及其制备方法，该碳化硅衬底粗抛用氧化铝抛光液，以重量份计，包括以下组分：超细氧化铝微粉10‑18份、分散剂1‑5份、悬浮剂1‑5份、复配型表面活性剂1‑3份、强氧化剂1‑5份和去离子水45‑90份。该氧化铝抛光液与市购的氧化铝抛光液相比，具有更好的去除速率和表面粗糙度，晶片表面平整度高且厚度均匀。
主权项：1.一种碳化硅衬底粗抛用氧化铝抛光液，其特征在于，以重量份计，包括以下组分： 所述复配型表面活性剂为非离子型表面活性剂和阴离子型表面活性剂的复配形成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北思瑞恩新材料科技有限公司 一种碳化硅衬底粗抛用氧化铝抛光液及其制备方法
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