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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
摘要：本发明提供一种镶嵌配线构造，其具备：基底，其具有设置有槽部的主面；绝缘层，其具有：设置于槽部的内表面上的第一部分；和与第一部分一体地形成，并且设置于主面上的第二部分；金属层，其设置于绝缘层的第一部分上；配线部，其埋入于槽部内，并且与金属层接合；以及覆盖层，其以覆盖绝缘层的第二部分、金属层的端部、和配线部的方式设置。绝缘层中的第一部分与第二部分的边界部分的与基底为相反侧的表面，包含在从配线部的延伸方向观察的情况下，相对于与主面垂直的方向倾斜的倾斜面。金属层的端部进入到覆盖层与倾斜面之间，在端部，沿着覆盖层的第一表面与沿着倾斜面的第二表面成锐角。
主权项：1.一种镶嵌配线构造，其特征在于：具备：基底，其具有设置有槽部的主面；绝缘层，其具有：设置于所述槽部的内表面上的第一部分；和与所述第一部分一体地形成，并且设置于所述主面上的第二部分；金属层，其设置于所述绝缘层的所述第一部分上；配线部，其埋入于所述槽部内，并且与所述金属层接合；以及覆盖层，其以覆盖所述绝缘层的所述第二部分和所述配线部的方式设置，所述绝缘层中的所述第一部分与所述第二部分的边界部分的与所述基底为相反侧的表面，包含在从所述配线部的延伸方向观察的情况下，相对于与所述主面垂直的方向倾斜的倾斜面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浜松光子学株式会社 镶嵌配线构造、致动装置、和镶嵌配线构造的制造方法
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