龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海大尘微影半导体科技有限公司
摘要：本发明属于光学干涉振动检测技术领域，具体公开了一种光学四细分的扫描式外差干涉振动检测装置，包括激光器、定位小孔、非偏振分光棱镜、二分之一波片、正偏振分光棱镜、第一信号采集系统、第二信号采集系统、第一光路反射系统以及第二光路反射系统；所述激光器射出的激光穿过定位小孔并被非偏振分光棱镜分为检测信号路与参考信号路，参考信号路通过第一信号采集系统转换为电信号后被数据采集卡采集；信号光路被正偏振分光棱镜分为光路一和光路二，光路一通过第一光路反射系统反射至第二信号采集系统，光路二通过第二光路反射系统反射至第二信号采集系统；第二信号采集系统通过将光路一与光路二转换为电信号后被所述数据采集卡采集。
主权项：1.一种光学四细分的扫描式外差干涉振动检测装置，其特征在于：包括激光器1、定位小孔2、非偏振分光棱镜3、二分之一波片4、正偏振分光棱镜5、第一信号采集系统、第二信号采集系统、第一光路反射系统以及第二光路反射系统；所述定位小孔2位于激光器1的输出端，所述激光器1射出的激光穿过所述定位小孔2并被所述非偏振分光棱镜3分为检测信号路与参考信号路，参考信号路通过所述第一信号采集系统转换为电信号后被所述数据采集卡22采集；透射所述非偏振分光棱镜3的信号光路由所述二分之一波片4对准所述正偏振分光棱镜5的偏振轴后射入，信号光路被正偏振分光棱镜5分为光路一和光路二，光路一通过第一光路反射系统反射至第二信号采集系统，光路二通过第二光路反射系统反射至第二信号采集系统；所述第二信号采集系统通过将光路一与光路二转换为电信号后被所述数据采集卡22采集。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大尘微影半导体科技有限公司 一种光学四细分的扫描式外差干涉振动检测装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号