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申请/专利权人：电子科技大学
摘要：本发明公开了一种AT切型石英谐振式氢气传感器，属于氢气传感器技术领域，包括依次叠置的第一钯材料多功能层、AT切型石英压电层和第二钯材料多功能层；第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层关于AT切型石英压电层对称设置；AT切型石英谐振式氢气传感器置于待测氢气环境中，向第一钯材料多功能层和第二钯材料多功能层施加激励信号，使AT切型石英谐振式氢气传感器发生谐振，通过检测谐振频率，实现待测氢气环境的氢气浓度检测。本发明利用钯金属薄膜对氢气的吸附作用使钯的杨氏模量发生变化，以改变谐振器的谐振频率，进而实现氢气浓度检测，具有结构简单、器件体积小、响应速度快、检测灵敏度高的优点，并且器件制备工艺简单成熟，成本较低，适用于大批量生产。
主权项：1.一种AT切型石英谐振式氢气传感器，其特征在于，包括依次叠置的第一钯材料多功能层、AT切型石英压电层和第二钯材料多功能层；第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层关于AT切型石英压电层对称设置；所述AT切型石英谐振式氢气传感器置于待测氢气环境中，向第一钯材料多功能层和第二钯材料多功能层施加激励信号，使AT切型石英谐振式氢气传感器发生谐振，通过检测谐振频率，实现待测氢气环境的氢气浓度检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电子科技大学 一种AT切型石英谐振式氢气传感器
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