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申请/专利权人：杭州四马化工科技有限公司
摘要：本发明属于金属材料领域，尤其涉及一种超薄铜箔的制备方法。所述方法包括：1）设置可动的载体，载体至少一面为负载面，且载体活动区域至少设置一个负载区；2）所述载体运动至负载区前的载体活动区域为上游区，所述载体在上游区中时，在载体的负载面覆盖过渡材料，形成过渡层；3）所述载体在负载区内运动时在过渡层表面进行金属铜的气相沉积，形成铜箔；4）所述载体运动离开负载区后的载体活动区域为下游区，所述过渡层在下游区内去除，实现铜箔和载体的分离；5）收集分离后的铜箔。本发明对于超薄铜箔的制备效率和良品率具有显著的提升；能够显著降低设备成本、工艺成本和物料成本。
主权项：1.一种超薄金属箔的制备方法，其特征在于，所述方法包括：1）设置可动的载体，载体至少一面为负载面，且载体活动区域至少设置一个负载区；2）所述载体运动至负载区前的载体活动区域为上游区，所述载体在上游区中时，在载体的负载面覆盖过渡材料，形成过渡层；3）所述载体在负载区内运动时在过渡层表面进行金属的气相沉积，形成金属箔；4）所述载体运动离开负载区后的载体活动区域为下游区，所述过渡层在下游区内去除，实现金属箔和载体的分离；5）收集分离后的金属箔；步骤2）所述过渡材料为碘；所述过渡材料在下游区内被去除后回收重复利用，再次进入到上游区用于过渡层的形成；所述碘采用气相沉积的方式覆盖在载体的负载面形成过渡层；所述碘形成的过渡层在下游区以热升华的方式去除；步骤3）所述金属箔沉积负载在载体表面后采用液冷和或风冷的方式迅速降温至≤35℃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州四马化工科技有限公司 一种超薄金属箔的制备方法
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