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申请/专利权人：兴芯社(重庆)电子设备有限公司
摘要：本实用新型提供一种半导体维修装置，属于半导体加工技术领域。包括底座，所述底座的上端面固定有固定柱，所述固定柱的顶部安装电子显微镜，所述底座的上端面对应所述电子显微镜的正下方设置有放置台，所述放置台的上端面中部开设有蜂窝槽，所述蜂窝槽连接有负压泵；所述放置台的上端面环绕所述蜂窝槽开设有散热槽，所述放置台的侧面安装有与所述散热槽内部连通的连接管，所述连接管远离所述放置台的一端连接有清洁管。本实用新型可利用蜂窝槽来对置于放置台上端面的半导体进行负压吸附固定，从而可避免在对半导体进行锡焊等维修操作时半导体活动而影响维修效果的问题。
主权项：1.一种半导体维修装置，包括底座，所述底座的上端面固定有固定柱，所述固定柱的顶部安装电子显微镜，其特征在于，所述底座的上端面对应所述电子显微镜的正下方设置有放置台，所述放置台的上端面中部开设有蜂窝槽，所述蜂窝槽连接有负压泵；所述放置台的上端面环绕所述蜂窝槽开设有散热槽，所述放置台的侧面安装有与所述散热槽内部连通的连接管，所述连接管远离所述放置台的一端连接有清洁管。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兴芯社(重庆)电子设备有限公司 一种半导体维修装置
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