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申请/专利权人：爱发科(苏州)技术研究开发有限公司
摘要：本发明提供一种OTS选通材料、OTS选通单元及其制备方法和相变存储器，所述OTS选通材料的化学通式为AsxSeySbm，其中，0.15≤x≤0.25，0.65≤y＜0.75，0＜m≤0.15。本发明通过在OTS选通材料中掺入一定比例的Sb元素，其能够有效降低OTS选通材料的第一次点火的阈值电压，且使得第一次点火的阈值电压和后续工作时的阈值电压相等，不仅减少了过高的第一次点火的阈值电压对OTS选通单元造成的冲击，提高了OTS选通单元的安全性和可靠性，而且也降低了Vth漂移现象出现的风险。
主权项：1.一种OTS选通材料，其特征在于，所述OTS选通材料的化学通式为AsxSeySbm，其中，0.15≤x≤0.25，0.65≤y＜0.75，0＜m≤0.15。
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权利要求：
百度查询： 爱发科(苏州)技术研究开发有限公司 一种OTS选通材料、OTS选通单元及其制备方法和相变存储器
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