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申请/专利权人：清华大学;上海清华国际创新中心
摘要：本发明公开了聚碲氧烷在非化学放大光刻胶中的应用，该聚碲氧烷具有Te‑O链。其中Te元素对EUV的高吸收以及特殊的Te‑O主链，旨在实现优异的UV光刻I‑line、KrF、ArF等、电子束光刻和EUV光刻性能，尤其是解决兼顾高灵敏度、高分辨率、低线边缘粗糙度的EUV光刻胶难题。
主权项：1.聚碲氧烷在非化学放大光刻胶中的应用，其特征在于，所述聚碲氧烷具有Te-O链。
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百度查询： 清华大学 上海清华国际创新中心 聚碲氧烷在非化学放大型光刻胶中的应用
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