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申请/专利权人：三叠纪(广东)科技有限公司;成都迈科科技有限公司

摘要：本发明实施例提供一种碱金属原子气室制作方法及碱金属原子气室，用以解决现有碱金属原子气室制作方法很难实现气室本体的内腔形状和尺寸的精确控制的技术问题。该碱金属原子气室制作方法，采用微纳加工技术制作得到的气室本体，其内腔形状规则、尺寸精度可达微米及以下。具有这种高精度的规则内腔结构的所述碱金属原子气室，具有优良的密封性能和长期稳定性，能够满足原子能级光路对光线漫射、散射和折射的严格要求，有利于精确操控和观测碱金属原子。此外，本发明实施例中的碱金属原子气室制作方法可在常规环境下实现碱金属原子气和惰性气体的注入，大大简化了生产流程，提高了生产效率。

主权项：1.碱金属原子气室制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：使用激光诱导刻蚀技术，在两块尺寸和规格相同的长方体玻璃基板上加工出气室预制通孔111和与所述气室预制通孔111相连通的内凹微通道槽211，得到形状和结构一致的第一气室前驱骨架和第二气室前驱骨架；其中，所述内凹微通道槽211在所述气室预制通孔111的右侧；采用机械加工技术，将两块用于封盖的玻璃基板加工成第一气室封盖板130和第二气室封盖板140；其中，所述第一气室封盖板130用于从一侧面封闭所述第一气室前驱骨架的所述气室预制通孔111，所述第二气室封盖板140用于从一侧面封闭所述第二气室前驱骨架的所述气室预制通孔111；通过键合工艺，将所述第一气室前驱骨架与所述第二气室前驱骨架、所述第一气室前驱骨架与所述第一气室封盖板130、所述第二气室前驱骨架与所述第二气室封盖板140对位键合，得到封闭的气室本体100及其右侧的方形微通道管体200a；采用机械加工技术，将方形微通道管体200a转变为便于管道连接的圆形微通道管体200b；在通过圆形微通道管体200b的微通道210对气室本体内腔110抽真空并注入预定量的碱金属原子气和惰性气体之后，使用局部激光切割技术切除所述气室本体100右侧的圆形微通道管体200b，并采用熔融技术封闭所述气室本体100的微通道口121，得到碱金属原子气室。

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