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申请/专利权人:冠礼控制科技(上海)有限公司
摘要:本发明属于化学品取样技术领域,且公开了一种半导体化学品取样设备,包括取样台,所述取样台中部内侧固定连接有化学品放置框,所述取样台顶部四周固定连接有支撑杆,所述支撑杆顶部固定连接有支撑顶板,所述支撑顶板顶端中部固定连接有液压杆。本发明通过启动液压杆,液压杆启动带动移动杆移动,移动杆移动由于限位板内部开设的滑槽对其的限位,移动杆会沿着滑槽的开设轨迹进行左右的移动,移动杆左右移动重新回馈给滑块,滑块又因为移动杆进行移动,从而达成在取样过程中多位置的取样,从而避免其运动轨迹的局限,避免取样的过程中由于其运动轨迹的限制,造成取样的局限性和取样的误差,从而提升取样检测结果的准确性。
主权项:1.一种半导体化学品取样设备,包括取样台1,所述取样台1中部内侧固定连接有化学品放置框2,所述取样台1顶部四周固定连接有支撑杆3,所述支撑杆3顶部固定连接有支撑顶板4,所述支撑顶板4顶端中部固定连接有液压杆5,其特征在于:所述液压杆5底部固定连接有移动块6,所述移动块6外侧滑动连接有滑块7,所述滑块7两侧分别固定连接有两个移动杆8,两个所述移动杆8外侧均设置有限位板9,两个所述限位板9均与支撑顶板4固定连接,所述限位板9中部开设有滑槽10,两个所述滑槽10分别与移动杆8相配合,两个所述移动杆8一端分别固定连接有两个限位圆块11,两个所述限位圆块11底部一侧均与限位板9相接触,所述滑块7底部设置有取样组件;所述取样组件包括第一固定柱12,所述第一固定柱12底部固定连接有固定板13,所述第一固定柱12一侧设置有驱动电机14,所述驱动电机14输出端固定连接有往复丝杆15,所述往复丝杆15外侧螺纹连接有螺纹套151,所述螺纹套151两侧固定连接有限位卡槽28,所述螺纹套151底部固定连接有活塞16,所述活塞16外侧设置有取样管17,所述活塞16与取样管17滑动连接,所述取样管17外侧固定连接有第二固定柱18,所述固定连接于第二固定柱18中部。
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权利要求:
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