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申请/专利权人：温州核芯智存科技有限公司
摘要：本发明提供一种铁电电容器的制备方法，该制备方法包括：在晶圆一侧制备单元孔，在单元孔一侧依次进行阻隔层沉积和下电极沉积；在下电极表面进行硬掩膜制备，对硬掩膜进行等离子刻蚀至下电极表面，对下电极层和阻隔层进行刻蚀；移除硬掩膜，在下电极一侧依次进行铁电薄膜沉积、上电极沉积、板线制备和铁电介质刻蚀，得到铁电电容器。该制备方法未使用黄光刻蚀工艺，避免了制备过程中对电容孔的损伤，提高了电容的均一性，简化了制备工艺。
主权项：1.一种铁电电容器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：在晶圆一侧制备单元孔，在所述单元孔一侧依次进行阻隔层沉积和下电极沉积；在所述下电极表面进行硬掩膜制备，对所述硬掩膜进行等离子刻蚀至所述下电极表面，对所述下电极层和阻隔层进行刻蚀；移除所述硬掩膜，在所述下电极一侧依次进行铁电薄膜沉积、上电极沉积、板线制备和铁电介质刻蚀，得到所述铁电电容器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 温州核芯智存科技有限公司 一种铁电电容器的制备方法
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