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申请/专利权人：安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司
摘要：本发明属于衬底抛光技术领域，具体地涉及一种液相外延衬底表面处理设备与处理工艺，其包括抛光垫、清理组件、滴液管和可升降的抛光组件，抛光组件通过吸盘与衬底本体连接，所述清理组件包括环形扇叶和气流腔，气流腔内转动安装环形扇叶，抛光组件与环形扇叶连接，所述滴液管对准抛光垫，抛光垫位于基盘上安装。本发明通过在气流腔内部安装环形扇叶，当转盘转动时，转盘通过外齿轮和内齿轮带动环形扇叶转动，进而加速气流腔内气体流动，使气流腔内形成气流，气流沿着气流腔的出风口对衬底本体的连接面吹送，将衬底本体连接面上的抛光液吹走，减少抛光过程中抛光液对衬底本体连接面的腐蚀，提高衬底本体品质。
主权项：1.一种液相外延衬底表面处理设备，其特征在于：其包括抛光垫（2）、清理组件（3）、滴液管（4）和可升降的抛光组件（6），所述清理组件（3）套设在抛光组件（6）外侧，抛光组件（6）通过吸盘（8）与衬底本体（5）连接，所述清理组件（3）包括环形扇叶（34）和气流腔（32），气流腔（32）的出风口对准衬底本体（5）靠近吸盘（8）的一端，气流腔（32）的入风口开设通孔（33），气流腔（32）内转动安装环形扇叶（34），抛光组件（6）与环形扇叶（34）连接，抛光组件（6）转动带动环形扇叶（34）同步转动，所述滴液管（4）对准抛光垫（2），抛光垫（2）位于基盘（1）上安装；当抛光组件（6）转动时，抛光组件（6）带动衬底本体（5）和环形扇叶（34）同时转动。
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权利要求：
百度查询： 安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司 一种液相外延衬底表面处理设备与处理工艺
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