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申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本申请公开了一种沉积Dy、Hf改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高TiAl合金抗氧化性能的方法，涉及高熵合金薄膜制备领域，包括以下步骤：以Ti、Al、Nb为合成原料，利用真空非自耗电弧熔炼技术，制备Ti‑45Al‑8Nb基体；S2、称取纯金属原料Al、Co、Cr、Fe、Ni以及纯活性原料Dy、Hf，利用真空非自耗电弧熔炼技术制备得到改性AlCoCrFeNi高熵合金靶材；S3、将步骤S1中的Ti‑45Al‑8Nb基体安装在磁控溅射设备的夹具上，将步骤S2中改性AlCoCrFeNi高熵合金靶材放置在射频靶上，利用磁控溅射技术，得到覆盖改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜的TiAl合金。因此，本申请采用上述的一种沉积Dy、Hf改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高TiAl合金抗氧化性能的方法，得到的改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高了TiAl合金的抗氧化性能。
主权项：1.一种沉积Dy、Hf改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高TiAl合金抗氧化性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、以Ti、Al、Nb为合成原料，利用真空非自耗电弧熔炼技术，制备Ti-45Al-8Nb基体；S2、称取纯金属原料Al、Co、Cr、Fe、Ni以及纯活性原料Dy、Hf，利用真空非自耗电弧熔炼技术制备得到改性AlCoCrFeNi高熵合金靶材；S3、将步骤S1中的Ti-45Al-8Nb基体安装在磁控溅射设备的夹具上，将步骤S2中改性AlCoCrFeNi高熵合金靶材放置在射频靶上，利用磁控溅射技术，得到覆盖改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜的TiAl合金。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种沉积Dy、Hf改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高TiAl合金抗氧化性能的方法
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