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申请/专利权人：合肥世纪金芯半导体有限公司
摘要：本实用新型提供一种碳化硅衬底装置，包括用于碳化硅衬底切割加工的加工台以及台座，加工台下方连接有台座，加工台上表面为一种蜂窝状镂空结构，加工台上方左右两侧分别设置有一组衬底固定组件，衬底固定组件包括空心立杆、电动机以及固定底块，空心立杆上方安装有电动机，其右侧下方安装有固定底块，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置衬底固定组件，能够在碳化硅衬底进行切割时将碳化硅衬底进行夹持使其快速固定，从而使碳化硅衬底在切割过程中不易晃动，通过设置蜂窝状镂空结构的加工台、抽拉腔以及废料收集屉，在碳化硅衬底切割过程中产生的碎料能够掉入废料收集屉内集中进行收集。
主权项：1.一种碳化硅衬底装置，包括用于碳化硅衬底切割加工的加工台100以及台座200，所述加工台100下方连接有台座200，其特征在于：所述加工台100上表面为一种蜂窝状镂空结构，所述加工台100上方左右两侧分别设置有一组衬底固定组件300；所述衬底固定组件300包括空心立杆301、电动机302以及固定底块303，所述空心立杆301上方安装有电动机302，其右侧下方安装有固定底块303，所述固定底块303上方设置有移动夹块304，所述空心立杆301侧面贯通开设有直线滑槽308；所述空心立杆301中间设置有中心螺杆305，所述中心螺杆305上方外侧安装有移动外筒306，所述移动外筒306右侧连接有连接滑块307，所述台座200正面中间开设有抽拉腔400，所述抽拉腔400内安装有废料收集屉500。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥世纪金芯半导体有限公司 一种碳化硅衬底装置
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