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申请/专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;深圳爱旭数字能源技术有限公司

摘要：本实用新型适用于CVD设备技术领域，提供一种CVD工艺腔体组件及CVD设备，包括：工艺腔体，工艺腔体的一侧壁贯穿设置有槽口，侧壁包括位于槽口上方的第一横梁；固定于工艺腔体的门阀，门阀设置有与槽口正对的阀孔，门阀包括位于阀孔上方的第二横梁；第一加强组件，第一加强组件与第一横梁固定连接且两端支撑于侧壁上；第二加强组件，第二加强组件与第二横梁固定连接且两端支撑于门阀上，第二加强组件与第一加强组件固定连接。本实用新型提供的CVD工艺腔体组件通过设置第一加强组件和第二加强组件上拉第一横梁和第二横梁，防止第一横梁和第二横梁下垂变形，可以实现CVD设备的反应腔良好密封性能，确保CVD设备良好镀膜效果。

主权项：1.一种CVD工艺腔体组件，其特征在于，包括：内设有反应腔的工艺腔体，所述工艺腔体的一侧壁贯穿设置有与所述反应腔连通的槽口，所述侧壁包括位于所述槽口上方的第一横梁；固定于所述工艺腔体的门阀，所述门阀贯穿设置有与所述槽口正对设置的阀孔，所述门阀内设有与所述阀孔连通的阀腔，所述门阀包括位于所述阀孔上方的第二横梁；沿所述第一横梁长度方向设置的第一加强组件，所述第一加强组件与所述第一横梁固定连接且两端支撑于所述侧壁上；以及沿所述第二横梁长度方向设置的第二加强组件，所述第二加强组件与所述第二横梁固定连接且两端支撑于所述门阀上，所述第二加强组件与所述第一加强组件固定连接。

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