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力敏感元件及轴力传感器 

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申请/专利权人:武汉飞恩微电子有限公司

摘要:一种力敏感元件及轴力传感器,其中力敏感元件包括:金属制的力柔顺元件,上侧设有第一力接收部,下侧设有第二力接收部;覆盖于力柔顺元件上端面的圆形或环形的绝缘层,其上表面具有一第一环形区域和一第二环形区域,第一环形区域同心地位于第二环形区域的外侧且两者之间留有径向间隙;覆盖于绝缘层上表面的八个焊盘;电阻层,包括两个第一压敏电阻和两个第二压敏电阻,压敏感电阻为弧形且对应覆盖两个焊盘的一部分;两个第一压敏电阻的周向两端分别抵近以在周向上占据第一环形区域的大部分且之间留有第一周向间隙;两个第二压敏电阻的周向两端分别抵近以在周向上占据第二环形区域的大部分且之间留有第二周向间隙;及圆形或环形的保护层,其覆盖于电阻层上表面。

主权项:1.一种力敏感元件1,其特征在于,包括:金属制的力柔顺元件10,其上侧设有第一力接收部1a,其下侧设有第二力接收部1b;覆盖于力柔顺元件10上端面的圆形或环形的绝缘层11,其上表面具有一第一环形区域和一第二环形区域,第一环形区域同心地位于第二环形区域的外侧且两者之间留有径向间隙13e;覆盖于绝缘层11上表面的八个焊盘;覆盖于绝缘层11上表面的电阻层13,包括位于第一环形区域的两个第一压敏电阻13a和位于第二环形区域的两个第二压敏电阻13b,压敏感电阻为弧形且对应覆盖两个焊盘的一部分;两个第一压敏电阻13a的周向两端分别抵近以在周向上占据第一环形区域的大部分且之间留有第一周向间隙13c;两个第二压敏电阻13b的周向两端分别抵近以在周向上占据第二环形区域的大部分且之间留有第二周向间隙13d;及圆形或环形的保护层14,其覆盖于电阻层13上表面。

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权利要求:

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