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申请/专利权人：江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
摘要：本发明涉及水基流延生坯技术领域，具体公开了一种水基流延生坯的制备方法；包括以下操作步骤：S1：将分散剂加入到去离子水中，均质化处理，得到分散液；S2：向分散液中加入烧结助剂、硅片粉体，在150～250rmin的转速下一次球磨混合0.5～1小时；球磨过程中，每隔10～20分钟，分批次加入聚二甲基硅氧烷，得到混合物A；S3：向混合物A中加入粘结剂、塑化剂、正丁醇，在150～250rmin进行二次球磨混合5～6小时，得到混合物B；S4：将混合物B依次进行过滤、高真空脱泡、超声均质、低真空脱泡、静置20～30分钟，得到浆料；S5：将浆料置于流延机中，升温干燥，得到水基流延生坯。
主权项：1.一种水基流延生坯的制备方法，其特征在于：所述水基流延生坯的原料包括以下组分：按质量份数计，30～50％硅片粉体、1～2.5％分散剂、5～10％粘结剂、1～5％塑化剂、1～3％消泡剂、5～10％烧结助剂，其余为去离子水；所述消泡剂包括聚二甲基硅氧烷、正丁醇。
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