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一种具有双光栅结构的量子阱红外偏振探测器及制备方法 

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申请/专利权人:中国科学院上海技术物理研究所

摘要:本发明公开了一种具有双光栅结构的量子阱红外偏振探测器及其制备方法,该探测器芯片包括基板,铟柱,带有线光栅结构的量子阱探测器和集成的金属线偏振光栅,量子阱偏振探测器与基板之间通过铟柱互连,这种偏振探测器的特征在于它的像元具有集成的双光栅结构。按照制备顺序,第一层光栅是在GaAs材料上采用刻蚀的方法得到的介质光栅;第二层光栅是在去除GaAs衬底的探测器的光线入射面采用电子束蒸发生长的金属光栅。这种具有集成双光栅的偏振红外探测器的优点是:双层光栅能够实现精确调控量子阱芯片单个像元内部的光场,提高量子阱红外偏振探测的消光比。

主权项:1.一种具有双光栅结构的量子阱红外偏振探测器,其特征在于:所述双光栅包括集成在AlGaAs腐蚀阻挡层上透射型金属光栅以及n+型GaAs上电极层和光线反射层组成的反射型光栅;探测器结构还包括,n+型GaAs下电极层,GaAsAlGaAs量子阱层,n+型GaAs上电极层,欧姆接触电极,钝化层,倒焊互连用In柱,基板。

全文数据:

权利要求:

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