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申请/专利权人：布鲁克斯自动化(德国)有限公司
摘要：用于存储半导体制造制品的储料器盒100，该储料器盒100包括至少两个部件110，120和与储料器盒100的至少两个部件110中的至少一个部件一体地形成的至少一个固位器130，该固位器130被配置成使储料器盒100的两个或更多个部件110，120相对于彼此固定。
主权项：1.一种用于存储半导体制造制品150的储料器盒100，所述储料器盒100包括至少两个部件110，120和与所述储料器盒100的所述至少两个部件110，120中的至少一个部件一体地形成的至少一个固位器130，134，所述固位器130，134被配置成使所述储料器盒100的所述两个或更多个部件110，120相对于彼此固定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 布鲁克斯自动化(德国)有限公司 用于存储半导体制造制品的储料器盒、方法和储料器
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