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玻璃块及其制造方法以及耐等离子体性部件 

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申请/专利权人:AGC株式会社

摘要:本发明涉及一种耐等离子体性部件用的玻璃块,含有硅、以及镁和钙中的至少一种,并且,将碱金属元素设为R1,碱土金属元素设为R2时,以氧化物基准的摩尔百分率表示,MgO和CaO的含量的合计为3.0摩尔%以上且小于29.0摩尔%,R2O的含量为3.0摩尔%以上且小于35.0摩尔%,R12O的含量为8.0摩尔%以下。

主权项:1.一种耐等离子体性部件用的玻璃块,含有硅、镁和钙中的至少一种,并且,将碱金属元素设为R1,碱土金属元素设为R2时,以氧化物基准的摩尔百分率表示,MgO和CaO的含量的合计为3.0摩尔%以上且小于29.0摩尔%,R2O的含量为3.0摩尔%以上且小于35.0摩尔%,R12O的含量为8.0摩尔%以下。

全文数据:

权利要求:

百度查询: AGC株式会社 玻璃块及其制造方法以及耐等离子体性部件

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