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申请/专利权人：武汉颐思谱科技有限公司
摘要：本发明提供一种膜厚分析方法，根据待测样品的测量光强，计算待测样品的测量反射率；将测量反射率到仿真光谱库中与理论反射率匹配；获取最小方差对应的理论反射率，将对应的每一层薄膜厚度值作为待测样品的膜厚初值；基于LM非线性回归算法对待测样品的膜厚初值进行迭代优化，求解待测样品的最优膜厚值；计算测量反射率与理论反射率之间的相关性；若相关性小于设定阈值，则对测量反射率去趋势处理，重新到仿真光谱库中进行匹配，得到膜厚值。本发明方法通过结合光谱仪测量数据和仿真计算，能够高效、准确地模拟多层薄膜系统的光学反射特性，并与实测数据进行匹配，提供精确的材料和结构信息，为现代光学和材料科学领域提供了重要的技术支持。
主权项：1.一种膜厚分析方法，其特征在于，包括：步骤S1，获取待测样品的测量光强，根据所述测量光强，计算待测样品的测量反射率；步骤S2，计算所述测量反射率与仿真光谱库中的每一理论反射率之间的方差，所述仿真光谱库中构建了多层薄膜系统的每一层薄膜厚度值与理论反射率的对应关系；步骤S3，获取最小方差对应的理论反射率，并将对应的每一层薄膜厚度值作为待测样品的膜厚初值；步骤S4，基于LM非线性回归算法对待测样品的膜厚初值进行迭代优化，求解待测样品的最优膜厚值；步骤S5，计算所述测量反射率与所述最优膜厚值对应的理论反射率之间的相关性；步骤S6，若所述相关性小于设定阈值，则对所述测量反射率去趋势处理，获取去趋势处理后的测量光谱，返回步骤S2；若所述相关性大于等于设定阈值，则结束流程。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉颐思谱科技有限公司 一种膜厚分析方法
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