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申请/专利权人：上海芯物科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质，包括以下步骤：设定刷压值并操作刷部下压载具；载具检测压力值；设定不同的刷压值并重复上述步骤至少一次；根据所述检测压力值计算实际刷压值；判断所有实际刷压值与设定刷压值之间的误差是否在设定范围内；若均是，判定机台参数设定合格。本发明的检测方法不用停机打开清洗腔体即可测试刷压是否异常，节约了停机时间和更换刷部的时间，大大提高生产效率和检测效率。
主权项：1.晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：包括以下步骤：将线性公式写入机台和载具，所述公式为yi＝k1xi+b1，其中i为检测次数，k1为斜率；b1为截距；xi为设定刷压值，单位为N；yi为实际刷压值，单位为N；其中参数k1和b1为根据以往测量的设定刷压值与实际刷压值数据通过最小二乘法拟合得到的已知值；设定刷压值并操作刷部下压载具；载具检测压力值；设定不同的刷压值并重复上述步骤至少一次；根据所述检测压力值计算实际刷压值，实际刷压值的计算步骤包括：检测压力值代入线性公式其中，z为检测压力值，单位为N；y为实际刷压值，单位为N；S为上冶具与载具接触面积，单位为mm2；S1为上冶具与压力检测器接触面积，单位为mm2；得到实际刷压值；判断所有实际刷压值与设定刷压值之间的误差值是否在设定范围内；实际刷压值与设定刷压值之间的误差值是否在设定范围内的判断步骤包括：实际刷压值与设定刷压值之间误差值的绝对值是否小于设定刷压值的7％；利用实际刷压值与设定刷压值拟合线性公式，判断拟合线性系数与原线性系数之间误差值的绝对值是否小于原线性系数的3％；若均是，判定机台参数设定合格。
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权利要求：
百度查询： 上海芯物科技有限公司 晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质
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