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申请/专利权人：无锡联发易创科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆制造设备技术领域，尤其是一种多方向晶圆搬送机构，包括纵向位移组件、横向驱动组件、转向组件、微调组件和夹持组件；所述横向驱动组件安装在纵向位移组件的输出端；转向组件包括旋转气缸；旋转气缸通过微调组件设于横向驱动组件的下侧以接受横向驱动组件的驱动；所述夹持组件设于旋转气缸的输出端，通过本实用新型可以实现提高晶圆搬送的灵活性，改善晶圆加工环境。
主权项：1.一种多方向晶圆搬送机构，其特征在于：包括纵向位移组件（1）、横向驱动组件（2）、转向组件（4）、微调组件（3）和夹持组件（5）；所述横向驱动组件（2）安装在纵向位移组件（1）的输出端；转向组件（4）包括旋转气缸（41）；旋转气缸（41）通过微调组件（3）设于横向驱动组件（2）的下侧以接受横向驱动组件（2）的驱动；所述夹持组件（5）设于旋转气缸（41）的输出端。
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百度查询： 无锡联发易创科技有限公司 一种多方向晶圆搬送机构
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