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光学检测的二轴检测装置及去除机架应力的方法 

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申请/专利权人:正实视觉(广东)有限公司

摘要:本发明涉及光学检测二轴检测装置及去除机架应力的方法。光学检测二轴检测装置,机架的底架与顶架上分别固设振动时效设备,机架顶架的两侧端固设一对平行设置的运动基座机构、覆设在运动基座机构顶部并桥接于运动基座机构之间的X轴组件与Y轴组件。去除机架应力的方法,包括:⑴启动振动时效主机、激振器;⑵传感器将振幅数据传送振动时效主机,第一扫频阶段,激振器开始扫频,寻找机架共振频率;⑶接近共振频率时,振动时效主机里的扫频曲线上升趋势,达到高点后下降,系统自动记录共振频率时的转速,即为被检测机架的共振频率;⑷进入时效阶段,激振器保持在共振频率下工作;⑸进入第二扫频阶段,通过两次扫频数据变化来判断消除应力的效果。

主权项:1.一种光学检测的二轴检测装置,其特征在于,包括机架、振动时效设备、运动基座机构、坐标轴机构;所述机架的底架与顶架上分别固设振动时效设备,机架顶架的两侧端固设一对平行设置的运动基座机构、覆设在运动基座机构顶部并桥接于运动基座机构之间的坐标轴机构;坐标轴机构包括X轴组件与Y轴组件。

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