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申请/专利权人:中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能新能源股份有限公司
摘要:本发明公开了一种热辅助化学浴旋转成膜的设备及钙钛矿薄膜的制备方法,属于太阳能电池技术领域。所述热辅助化学浴旋转成膜的设备包括成膜系统和供液系统;所述成膜系统包括加热装置;设置在所述加热装置上方的可旋转顶面,所述可旋转顶面用于放置基底,可沿竖直方向旋转;所述可旋转顶面上设置有使未反应的原料液回流的凹槽;与可旋转顶面装置相连接的用于提供真空吸附固定基底的装置;所述供液系统的出液口设置在可旋转顶面的上方。采用所述设备可以提高钙钛矿薄膜晶体的形核和长大,减少晶界,进一步提高光电转换效率,并且可以实现钙钛矿薄膜的大面积制备。
主权项:1.一种热辅助化学浴旋转成膜的设备,其特征在于,包括成膜系统和供液系统;所述成膜系统包括加热装置;设置在所述加热装置上方的可旋转顶面,所述可旋转顶面用于放置基底,可沿竖直方向旋转;所述可旋转顶面上设置有使未反应的原料液回流的凹槽;与可旋转顶面装置相连接的用于提供真空吸附固定基底的装置;所述供液系统的出液口设置在可旋转顶面的上方。
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