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申请/专利权人：信强(宁波)半导体设备制造有限公司
摘要：本发明公开一种真空泵包括二个转子、汽缸以及旋转驱动结构。该汽缸包括一汽缸壁。该两转子设于该汽缸，该两转子皆包括爪部与凹陷部，凹陷部设于爪部并与汽缸壁形成一闪避空间。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边，其中各磁性柱分散设置并与槽体以第一连接端连接，且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈是分散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。
主权项：1.一种真空泵，其特征在于，该真空泵包括：一汽缸，其中该汽缸包括一汽缸壁；两转子，该两转子设于该汽缸，该两转子皆包括：一爪部；一凹陷部，设于该爪部并与该汽缸壁形成一闪避空间；一旋转驱动结构，包括：一槽体；两磁性旋转柱，其是位于该槽体内并分别与该两转子枢接；多个磁性柱，各该磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边，其中各该磁性柱分散设置并与该槽体以该第一连接端连接，且该第二连接端环绕该两磁性旋转柱；以及多个电磁线圈，各该电磁线圈是分散设于各该第一侧边及各该第二侧边并紧靠该槽体；该槽体包括多个内侧壁面，该多个内侧壁面呈现为平坦的表面；各该第一连接端连接该多个内侧壁面，至少一内侧壁面包括一延伸柱，该延伸柱位于该两磁性旋转柱的对称轴上，且该延伸柱连接两个磁性柱，该两个磁性柱的第二连接端分别朝向该两磁性旋转柱，使得多个磁性柱中的一部分磁性柱以该两磁性旋转柱的其中一为中心呈放射状排列并形成一旋转区，另一部分磁性柱以该两磁性旋转柱的另一者为中心呈放射状排列并形成另一旋转区。
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