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摘要：本发明提供了一种监控碳化硅晶圆翘曲的方法，包括：在碳化硅晶圆表面设置N个采样点，其中，N≥2。测量N个采样点的粗糙度，粗糙度在显微镜下测量得到。根据粗糙度监控研磨质量，粗糙度与碳化硅晶圆的翘曲呈正相关。若研磨质量异常，则更换研磨设备，或调整工艺参数。一个采样点的粗糙度较大，说明碳化硅晶圆在该点的局部翘曲较大；N个采样点的粗糙度均较大，说明碳化硅晶圆整体的翘曲较大。在加工碳化硅晶圆的过程中监控碳化硅晶圆表面N个采样点的粗糙度，根据粗糙度可以及时判断研磨质量是否存在异常，在研磨质量存在异常时，在硬件上更换研磨设备，或在软件上调整工艺参数，可以避免在后续加工过程中出现加工异常。
主权项：1.一种监控碳化硅晶圆翘曲的方法，其特征在于，包括：在碳化硅晶圆表面设置N个采样点，其中，N≥2；测量N个所述采样点的粗糙度，所述粗糙度在显微镜下测量得到；根据所述粗糙度监控研磨质量，所述粗糙度与所述碳化硅晶圆的翘曲呈正相关；若所述研磨质量异常，则更换研磨设备，或调整工艺参数。
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