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摘要：本发明公开了一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统，方法包括：控制光源发出白光垂直入射至被测薄膜，经反射和折射之后形成干涉光；对干涉光进行分析，根据多个波长下的被测干涉光强度获得被测干涉光强度曲线；被测薄膜的厚度在第一预设厚度范围内时，对被测干涉光强度曲线进行转换，获得被测反射率曲线，根据样品反射率曲线与被测反射率曲线计算匹配度，根据匹配度计算被测薄膜的厚度；被测薄膜的厚度在第二预设厚度范围内时，基于被测干涉光强度曲线进行傅里叶变换和频域插值处理，获得插值频率，根据插值频率计算获得被测薄膜的厚度；该方法能够提高薄膜厚度检测的效率，并保证检测的准确性。
主权项：1.一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法，其特征在于，包括：控制光源发出白光垂直入射至被测薄膜，经反射和折射之后形成干涉光，控制光谱仪采集所述干涉光；控制光谱仪对所述干涉光进行分析，获得多个波长下的被测干涉光强度；根据多个波长下的被测干涉光强度获得被测干涉光强度曲线；被测薄膜的厚度在第一预设厚度范围内时，预先采用与所述被测薄膜相同材料的不同已知厚度的样品进行计算，获得不同厚度的样品反射率曲线；对所述被测干涉光强度曲线进行转换，获得被测反射率曲线，根据所述样品反射率曲线与所述被测反射率曲线计算匹配度，根据所述匹配度计算被测薄膜的厚度；被测薄膜的厚度在第二预设厚度范围内时，基于所述被测干涉光强度曲线进行傅里叶变换和频域插值处理，获得插值频率，根据所述插值频率计算获得被测薄膜的厚度；其中，第一预设厚度范围小于第二预设厚度范围。
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百度查询： 浙江双元科技股份有限公司 一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统
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