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摘要:本发明提供了一种具有双向SCR通路的静电保护器件,包括串联的N个双向BJT串联堆叠单元和M个双向SCR串联堆叠单元,双向BJT串联堆叠单元与静电防护器件的正极相连,双向SCR串联堆叠单元与静电防护器件的负极相连,双向SCR串联堆叠单元内设有第一P型ESD保护层和第二P型ESD保护层,第一P型ESD保护层内设有与双向BJT串联堆叠单元相连的P+重掺杂有源区和N+重掺杂有源区,第二P型ESD保护层内设有与静电防护器件的负极相连的N+重掺杂有源区和P+重掺杂有源区,第一P型ESD保护层与第二P型ESD保护层之间形成双向SCR通路。本发明的有益效果为:双向SCR通路能够降低静电保护器件的钳位电压Vc。
主权项:1.一种具有双向SCR通路的静电保护器件,其特征在于:包括半导体衬底和设置在所述半导体衬底上的N个双向BJT串联堆叠单元和M个双向SCR串联堆叠单元,N、M均为正整数,所述双向BJT串联堆叠单元通过金属互联线与所述双向SCR串联堆叠单元串联,所述双向BJT串联堆叠单元通过金属互联线与静电防护器件的正极相连,所述双向SCR串联堆叠单元通过金属互联线与静电防护器件的负极相连,所述双向SCR串联堆叠单元内设有第一N型阱区,所述第一N型阱区内设有第一P型ESD保护层和第二P型ESD保护层,所述第一P型ESD保护层内设有通过金属互联线与所述双向BJT串联堆叠单元相连的P+重掺杂有源区和N+重掺杂有源区,所述第二P型ESD保护层内设有通过金属互联线与静电防护器件的负极相连的N+重掺杂有源区和P+重掺杂有源区,所述第一P型ESD保护层的P+重掺杂有源区、N+重掺杂有源区与所述第二P型ESD保护层的P+重掺杂有源区、N+重掺杂有源区之间形成具有回滞特性的双向SCR通路,所述双向SCR通路能够降低静电保护器件整体的钳位电压Vc,调整所述双向SCR串联堆叠单元和所述双向BJT串联堆叠单元的数量比例能够改变静电保护器件整体的钳位电压Vc。
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