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摘要：本发明属于切削力传感器领域，涉及一种聚合物先驱体陶瓷薄膜及切削力传感器，其中，聚合物先驱体陶瓷薄膜的制备方法包括：1按照质量比1：1：0.9～1.1分别称取PSN溶液、SiCN粉体以及TiSi2粉体，混合后得到浆料；2将步骤1获取得到的浆料在氮气气氛中搅拌直至混合均匀；3将混合均匀的浆料浇注模具中，并对模具中的浆料摊平；4将含有浆料的模具放入烘箱中，促使浆料完全固化；5将固化后的整体放入高温炉中，于氮气气氛下热解得到聚合物先驱体陶瓷薄膜。本发明提供了一种小型化以及具有良好的传感性能的聚合物先驱体陶瓷薄膜及切削力传感器。
主权项：1.一种聚合物先驱体陶瓷薄膜的制备方法，其特征在于：所述聚合物先驱体陶瓷薄膜的制备方法包括：1按照质量比1：1：0.9～1.1分别称取PSN溶液、SiCN粉体以及TiSi2粉体，混合后得到浆料；2将步骤1获取得到的浆料在氮气气氛中搅拌直至混合均匀；3将混合均匀的浆料浇注模具中，并对模具中的浆料摊平；4将含有浆料的模具放入烘箱中，促使浆料完全固化；5将固化后的整体放入高温炉中，于氮气气氛下热解得到聚合物先驱体陶瓷薄膜。
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百度查询： 郑州大学 聚合物先驱体陶瓷薄膜及切削力传感器
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