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摘要：本发明提供激光干涉仪和激光干涉仪的光轴调整方法，抑制产生干涉条纹，并抑制受光信号中的SN比降低，能够高效地进行激光干涉仪的光轴的调整。激光干涉仪具备光干涉部和指示部，光干涉部为非同轴光学系统，并具有：激光光源，射出激光；光调制器，对激光的频率进行调制而生成参照光；受光元件，接收通过激光照射至对象物而生成的物体光和参照光并输出受光信号；第一开口元件，配置于入射至受光元件的光路上，检测物体光的光轴相对于参照光的光轴的位置偏移；以及角度偏移检测部，基于受光信号检测物体光的光轴相对于参照光的光轴的角度偏移，指示部基于位置偏移的检测结果和角度偏移的检测结果发出变更光干涉部与对象物的相对配置的指示。
主权项：1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备光干涉部和指示部，所述光干涉部为非同轴光学系统，并具有：激光光源，射出激光；光调制器，对所述激光的频率进行调制，并生成参照光；受光元件，接收通过所述激光照射至对象物而生成的物体光和所述参照光，并输出受光信号；第一开口元件，配置于所述物体光和所述参照光入射至所述受光元件的光路上，检测所述物体光的光轴相对于所述参照光的光轴的位置偏移；以及角度偏移检测部，基于所述受光信号检测所述物体光的光轴相对于所述参照光的光轴的角度偏移，所述指示部基于所述位置偏移的检测结果和所述角度偏移的检测结果发出变更所述光干涉部与所述对象物的相对的配置的指示。
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权利要求：
百度查询： 精工爱普生株式会社 激光干涉仪和激光干涉仪的光轴调整方法
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