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摘要：本发明公开了一种片上全集成多轴光学陀螺、制备方法及工作方法，属于光电集成领域，包括有源器件和无源器件，无源器件包括由SiN波导构成的传光波导、起偏器、分束器和双层波导环，有源器件包括由SiN波导异构集成的宽谱光源、相位调制器、光电探测器，且宽谱光源、传光波导、起偏器、分束器、相位调制器、双层波导环和光电探测器沿光传播的方向依次布置。本发明采用上述片上全集成多轴光学陀螺、制备方法及工作方法，基于微纳光学芯片相关技术，实现了光学陀螺所有核心元件的完全单片集成，从而实现了在不影响精度的前提下，进一步缩小了体型。
主权项：1.一种片上全集成多轴光学陀螺，包括有源器件和无源器件，其特征在于：无源器件包括由SiN波导构成的传光波导、起偏器、分束器和双层波导环，有源器件包括由SiN波导异构集成的宽谱光源、相位调制器、光电探测器，宽谱光源、传光波导、起偏器、分束器、相位调制器、双层波导环和光电探测器之间经SiN波导实现片上连接，且宽谱光源、传光波导、起偏器、分束器、相位调制器、双层波导环和光电探测器沿光传播的方向依次布置。
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百度查询： 北京航空航天大学 一种片上全集成多轴光学陀螺、制备方法及工作方法
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