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一种制作工艺及红外截止滤光片 

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摘要:本发明公开了一种制作工艺及红外截止滤光片,工艺用于制作红外截止滤光片,包括步骤:采用离子源阶梯功率制作第一薄膜材料;采用离子源阶梯功率制作第二薄膜材料;将第一薄膜材料、第二薄膜材料交替制作在基材玻璃的第一面,获取低反射薄膜系统;将第一薄膜材料、第二薄膜材料交替制作在基材玻璃的第二面,获取可见光范围高透、红外光范围截止的多层薄膜系统。实施本发明,一方面保证了膜层致密度,降低了薄膜界面的粗糙度,避免薄膜系统发雾,另一方面,避免了离子源功率过大导致薄膜产生应力,降低了玻璃基材在后续加工工艺中破裂的风险。

主权项:1.一种制作工艺,特征在于,用于制作红外截止滤光片,包括:步骤100、采用离子源阶梯功率制作第一薄膜材料;步骤200、采用离子源阶梯功率制作第二薄膜材料;步骤300、将所述第一薄膜材料、第二薄膜材料交替制作在基材玻璃的第一面,获取低反射薄膜系统;步骤400、将所述第一薄膜材料、第二薄膜材料交替制作在基材玻璃的第二面,获取可见光范围高透、红外光范围截止的多层薄膜系统。

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