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摘要:公开了电容器和包括其的半导体装置。所述电容器可以包括主下电极、在主下电极的表面上的界面结构、在界面结构上包括金属氧化物的主介电层和在主介电层上的上电极。界面结构可以包括第一界面层、第二界面层和第三界面层。第一界面层可以具有导电性,并且可以包括掺杂有五价元素的金属氧化物。第二界面层可以在第一界面层上,并且可以包括在第一界面层的材料中进一步掺杂有氮的材料。第三界面层可以在第二界面层上,并且可以包括掺杂有氮的金属氧化物。包括在第三界面层的金属氧化物中的金属可以包括四价金属。
主权项:1.一种电容器,所述电容器包括:主下电极;界面结构,在主下电极的表面上;主介电层,在界面结构上,主介电层包括第一金属氧化物;以及上电极,在主介电层上,其中,界面结构包括:第一界面层,具有导电性,第一界面层包括第二金属氧化物和五价元素的掺杂剂;第二界面层,在第一界面层上,第二界面层包括第二金属氧化物和氮的掺杂剂;以及第三界面层,在第二界面层上,第三界面层包括第三金属氧化物和氮的掺杂剂,其中,第三金属氧化物包括四价金属的氧化物。
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百度查询: 三星电子株式会社 电容器和包括该电容器的半导体装置
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