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摘要：本发明提供了应用于晶圆片搬运技术领域的一种晶圆片不接触取放手，包括安装于盘孔内的柱头，开设于柱头的圆台形贯穿孔，以及安装于贯穿孔内的圆台形引导块，本发明通过将柱头安装于盘孔内，并将柱头内的贯穿孔设置为圆台形结构，将同样为圆台形结构的引导块设置于贯穿孔内，当高速气流在贯穿孔内自上而下喷出时，借助贯穿孔内端壁和引导块外端壁圆台形结构的引导，使得高速气流喷出时可以均匀分散在晶圆片顶部的各个方向上，进而使得晶圆片各个方向上受到的负压吸附力处于相对均衡的状态，避免晶圆片被悬空吸持时晃动，在一定程度上提升了该装置不接触抓取晶圆片时的稳定性。
主权项：1.一种晶圆片不接触取放手，包括杆身（1），其特征在于，所述杆身（1）的端头处安装有吸盘组件（2），且吸盘组件（2）包括设置为L形结构的L型架（201），所述L型架（201）的底部通过螺栓固定连接有连接块（202），所述连接块（202）的底部通过螺栓固定连接有吸盘头（203），所述连接块（202）的侧端壁上固定安装有气管接头（204），所述吸盘头（203）的底部开设有盘孔（205），且盘孔（205）内安装有柱头（3），所述柱头（3）内开设有为圆台形结构的贯穿孔，且贯穿孔与气管接头（204）相连通，所述贯穿孔内设置有同为圆台形结构的引导块（301），所述引导块（301）的外侧尺寸小于贯穿孔的内侧尺寸。
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百度查询： 苏州安田丰科技有限公司 一种晶圆片不接触取放手
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