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摘要:本公开涉及具有晶体管基元和箝位区的碳化硅装置。一种碳化硅装置可包括晶体管基元。晶体管基元可包括栅电极和源极区。碳化硅装置还可包括:第一导电型的第一箝位区,按照电气方式与栅电极连接;和第一导电型的第二箝位区,按照电气方式与源极区连接。碳化硅装置还可包括:第二导电型的阱区,沿侧向包围第一箝位区和第二箝位区中的每一个。第一箝位区和第二箝位区之间的最短距离可等于或小于10μm。
主权项:1.一种碳化硅装置500,包括:晶体管基元TC,包括栅电极155和源极区110;第一导电型的第一箝位区411,按照电气方式与所述栅电极155连接;第一导电型的第二箝位区412,按照电气方式与所述源极区110连接;和第二导电型的阱区410,沿侧向包围所述第一箝位区和所述第二箝位区中的每一个,其中所述第一箝位区和所述第二箝位区之间的最短距离d等于或小于10μm。
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