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摘要：一种用于减少振动对深紫外光源的模块中的组件的影响的装置和方法。这些组件被设置有用于感测振动波形的传感器325、335和用于施加与振动波形相反的波形并且因此消除振动波形的致动器320、330。除了应用主动噪声振动消除以外，由主动振动抑制产生的振动波形被分析以标识残余振动，从而确定残余振动消除波形的特性。
主权项：1.一种用于光刻系统的模块的抗振装置，所述模块具有底盘，所述抗振装置包括：第一压电质量构件，被机械地耦接到由使所述底盘振动的振动波形在第一方向上的所加速的所述底盘，并且适于生成指示所述振动波形在所述第一方向上的分量的信号；控制器，被布置为接收所述信号并且适于至少部分地基于所述信号生成第一振动抑制波形；以及第二压电质量构件，被机械地耦接到所述底盘，并且被布置为接收所述第一振动抑制波形，并且适于根据所述第一振动抑制波形在所述第一方向上向所述底盘施加第一抗振力。
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百度查询： 西默有限公司 用于激光波长和带宽稳定性的振动消除的装置和方法
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