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摘要：本发明提供一种半导体工艺设备的传输腔室及半导体工艺设备，包括：腔体、驱动件及设置于腔体内的第一板体、第二板体、一级联动机构和二级联动机构，腔体相对的两个腔壁上均设有传片口，第一板体和第二板体的延伸方向平行，第二板体位于第一板体的上方，第二板体用于承载待加工件；驱动件用于驱动第一板体沿其延伸方向往复平移；一级联动机构将第一板体的平移运动转换成旋转动力传递给二级联动机构；二级联动机构将旋转动力转换成直线动力传递给第二板体，以驱动第二板体沿其延伸方向往复平移。第二板体移至第一行程终点和第二行程终点时，待加工件可分别由两个传片口移出腔体。该传输腔室仅设置有一个驱动件，驱动源的数量少，结构简单。
主权项：1.一种半导体工艺设备的传输腔室，其特征在于，包括：腔体，相对的两个腔壁上均设有传片口；传输装置，包括驱动件及设置于所述腔体内的第一板体、第二板体、一级联动机构和二级联动机构；所述第一板体和所述第二板体的延伸方向平行，所述第二板体位于所述第一板体的上方，所述第二板体背向所述第一板体的一面用于承载待加工件，所述第二板体可相对于所述第一板体沿其延伸方向移动；所述驱动件与所述第一板体传动连接，用于驱动所述第一板体沿其延伸方向往复平移；所述一级联动机构用于将所述第一板体的平移运动转换成旋转动力传递给所述二级联动机构；所述二级联动机构用于将所述旋转动力转换成直线动力传递给所述第二板体，以用于驱动所述第二板体沿其延伸方向往复平移；且所述第二板体由初始位置平移至第一行程终点时，所述待加工件由两个所述传片口中的一个移出所述腔体，所述第二板体由初始位置平移至第二行程终点时，所述待加工件由两个所述传片口中的另一个移出所述腔体。
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百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备的传输腔室及半导体工艺设备
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