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摘要：极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件及其使用方法在此叙述。组件包括环体结构。环体结构包括外环体及于外环体径向之内的内环体。组件还包括真空接口，其用以连接且接触内环体，其中内环体具有开口，开口的大小可调整使一个装置可穿过并进入真空接口。
主权项：1.一种用于与一极紫外光室使用的组件，其特征在于，包含：一环体结构，包含：一外环体；及一内环体，可移除地嵌套在该外环体内且被该外环体完全包围；及一真空接口，与该内环体连接并接触该内环体，其中该内环体具有一开口，该开口的大小能够调整以使一装置穿过并进入该真空接口。
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百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件及其使用方法
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