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摘要：本申请涉及一种金刚石生长的MPCVD基片台，包括底盘、顶盘、中间盘和水冷台，底盘和顶盘之间通过多个导向轴连接，中间盘位于底盘和顶盘之间且与导向轴滑动配合，中间盘和底盘之间设有用于带动中间盘升降的升降机构；顶盘上设有上端开口的外壳，水冷台可上下滑动的设置在外壳内，水冷台下端设有滑动贯穿顶盘且与中间盘固定连接的连接件。本申请通过升降机构带动中间盘升降，从而带动水冷台上下升降，从而能够精确控制金刚石的生长位置，确保金刚石在基片表面的均匀性和一致性。
主权项：1.一种金刚石生长的MPCVD基片台，其特征在于，包括底盘（1）、顶盘（3）、中间盘（2）和水冷台（8），底盘（1）和顶盘（3）之间通过多个导向轴（4）连接，中间盘（2）位于底盘（1）和顶盘（3）之间且与导向轴（4）滑动配合，中间盘（2）和底盘（1）之间设有用于带动中间盘（2）升降的升降机构；顶盘（3）上设有上端开口的外壳（31），水冷台（8）可上下滑动的设置在外壳（31）内，水冷台（8）下端设有滑动贯穿顶盘（3）且与中间盘（2）固定连接的连接件（7）。
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百度查询： 郑州势垒科技有限公司 一种金刚石生长的MPCVD基片台
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