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摘要:本发明属于电子材料开发和薄膜材料制备技术,具体涉及一种铁酸铋膜材料及其制备方法与应用,利用射频磁控溅射技术在350~550℃条件下,在附着有氧化铟锡导电薄膜的透明玻璃基体上沉积铁酸铋膜,冷却至室温后,在铁酸铋膜上溅射沉积铂薄层。制备温度低且无需高温退火处理,无需引入额外缓冲层,制备过程简单,所需全部原材料廉价易得,尤其具有高透明度和优异的铁电、压电性能,在透明压电膜器件特别是具有触觉反馈的平面显示器领域展现出巨大应用潜力。
主权项:1.一种铁酸铋膜材料,其特征在于,包括基体、底电极、压电膜和顶电极,所述基体为透明玻璃,所述底电极为透明氧化铟锡层,所述压电膜为铁酸铋膜,所述顶电极为金属铂薄层;其中,所述铁酸铋膜直接沉积在底电极上。
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百度查询: 齐鲁工业大学(山东省科学院) 一种铁酸铋膜材料及其制备方法与应用
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