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摘要:本发明提供一种截断机截断精度控制方法,预先输入锯带厚度、分段晶棒长度或样片厚度的设定值;根据锯带实际厚度、分段晶棒长度或样片厚度输出实际晶锭截断长度或实际样片截断厚度;根据实际晶锭截断长度或实际样片截断厚度进行晶锭切割,得到截断晶锭或截断样片;对截断晶锭或截断样片进行长度或厚度测量,得到晶锭测量直径或样片测量厚度;根据晶锭测量直径或样片测量厚度、分段晶棒长度或样片厚度的设定值计算得到锯带磨耗量;根据锯带磨耗量、锯带厚度得到锯带实际厚度;根据锯带实际厚度重复上述S2~S6步骤截断晶锭或截断样片;如此截断晶锭或截断样片不会因锯带磨损量未知而导致输出实际晶锭截断长度或实际样片截断厚度偏大,使得精度提高。
主权项:1.一种截断机截断精度控制方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:输入锯带厚度、分段晶棒长度或样片厚度的设定值;S2:根据锯带实际厚度、分段晶棒长度或样片厚度输出实际晶锭截断长度或实际样片截断厚度;S3:根据实际晶锭截断长度或实际样片截断厚度进行晶锭切割,得到截断晶锭或截断样片;S4:对截断晶锭或截断样片进行长度或厚度测量,得到晶锭测量长度值或样片测量厚度值;S5:根据晶锭测量长度值或样片测量厚度值、分段晶棒长度或样片厚度的设定值计算得到锯带磨耗量;S6:根据锯带磨耗量、锯带厚度得到锯带实际厚度;S7:根据锯带实际厚度重复上述S2~S6步骤截断晶锭或截断样片。
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