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摘要：本发明提供一种制造多个发光元件的发光元件的制造方法，其具有使包含发光层的外延层在起始基板上生长的工序、及在该发光层上形成用以形成元件的隔离沟槽的工序，将所要制造的所述多个发光元件各自的俯视形状设为具有对称轴的线对称的六边形，该六边形具有与所述对称轴平行的2条边，该平行的2条边的长度比其他4条边长，所述对称轴通过的2个顶角为90°以上且小于180°，通过规定宽度的所述隔离沟槽隔离所要制造的所述多个发光元件，并以所述多个发光元件隔着所述隔离沟槽无间隙地配置的方式形成所述隔离沟槽。由此，提供一种不会使移动、安装时的良率下降，从而使每片晶圆的元件的收率升高的发光元件及发光元件的制造方法。
主权项：1.一种发光元件的制造方法，其为制造多个发光元件的发光元件的制造方法，且具有以下工序：使包含发光层的外延层在起始基板上生长的工序、及在该发光层上形成用以形成元件的隔离沟槽的工序，该发光元件的制造方法的特征在于，在使所述外延层生长的工序之后进一步包含：隔着接合材料将透光性基板接合于所述外延层上，并将所述起始基板去除的工序，将所要制造的所述多个发光元件各自的俯视形状设为具有对称轴的线对称的六边形，其中，该六边形具有与所述对称轴平行的2条边，该平行的2条边的长度比其他4条边长，所述对称轴所通过的2个顶角为90°以上且小于180°，通过规定宽度的所述隔离沟槽来隔离所要制造的所述多个发光元件，并以所述多个发光元件隔着所述隔离沟槽无间隙地配置的方式形成所述隔离沟槽。
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百度查询： 信越半导体株式会社 发光元件及其制造方法
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