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摘要：本申请实施例提供了一种晶圆对心装置、晶圆传输装置和晶圆划切装置，包括基座；主动力轮，其枢转设置至所述基座，且其转动轴线垂直于所述基座的平面；至少三个副动力轮，其枢转设置至所述基座，至少三个副动力轮等间隔设置至所述主动力轮的外周，并与所述主动力轮啮合，所述副动力轮设有抵接部，至少三个所述副动力轮的所述抵接部与所述主动力轮的圆心的距离相等，且当所述主动力轮转动时，至少三个所述副动力轮均能转动相同的角度，至少三个所述抵接部均与所述晶圆的边缘抵接，以将所述晶圆的圆心与所述主动力轮的圆心对应。本申请实施例提供一种晶圆对心组件和晶圆对心装置，能够稳定实现晶圆的对心。
主权项：1.一种晶圆对心装置，其特征在于，包括：基座；主动力轮，其枢转设置至所述基座，且其转动轴线垂直于所述基座的平面；至少三个副动力轮，其枢转设置至所述基座，至少三个副动力轮等间隔设置至所述主动力轮的外周，并与所述主动力轮啮合，所述副动力轮设有抵接部，至少三个所述副动力轮的所述抵接部与所述主动力轮的圆心的距离相等，且当所述主动力轮转动时，至少三个所述副动力轮均能够转动相同的角度，至少三个所述抵接部均与所述晶圆的边缘抵接，以将所述晶圆的圆心与所述主动力轮的圆心对应。
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百度查询： 华海清科股份有限公司 晶圆对心装置、晶圆传输装置和晶圆划切装置
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