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摘要：本发明公开了一种理论光谱库建库的方法、测量方法及其电子设备、介质、程序产品。其中，所述理论光谱库建库的方法，包括：将一半导体器件进行几何建模，设置用于描述所述几何模型的结构参数及所述结构参数的浮动范围；将所述几何模型划分为多个主模块，并针对每一主模块对应选取所述主模块的结构参数集合；针对所述主模块的结构参数集合中的每一结构参数的每一浮动值，定义每一主模块所对应的模块结构集合，以构建主模块结构库；根据OCD测量对应的条件，对应所述主模块结构库中每一模块结构分别计算其散射矩阵传输矩阵，并与所述主模块一一对应保存，以构建主模块数据库。本发明通过减少重复计算，使得计算时间大大减少。
主权项：1.一种理论光谱库建库的方法，其特征在于，包括：将一半导体器件进行几何建模，设置用于描述所述几何模型的结构参数及所述结构参数的浮动范围；将所述几何模型划分为多个主模块，并针对每一主模块对应选取所述主模块的结构参数集合；针对所述主模块的结构参数集合中的每一结构参数的每一浮动值，定义每一主模块所对应的模块结构集合，以构建主模块结构库；根据OCD测量对应的条件，对应所述主模块结构库中每一模块结构分别计算其散射矩阵传输矩阵，并与所述主模块一一对应保存，以构建主模块数据库。
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百度查询： 匠岭科技(上海)有限公司 理论光谱库建库的方法、测量方法及其电子设备、介质、程序产品
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